長期供應(yīng)石墨半導(dǎo)體離子注入等離子蝕刻用石墨制品
發(fā)布時間：2024-10-16 10:13:55 關(guān)注度：5
1.離子注入用石墨，細(xì)顆粒高密度的石墨呈現(xiàn)出很高的耐腐蝕性，即便是在非常惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)亦是如此。2.由于離子束的原因，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會導(dǎo)致高的損失，故此時應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。3.我司采用德國西格里石墨，不單能為各種離子注入機提供石墨屏蔽罩，且提供規(guī)格不同具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源。4.即便在離子轟擊或等離子等極限工作條件下，細(xì)粒、高密度石墨也不易受腐蝕。離子轟擊設(shè)備的金屬部件要接觸離子束，磨損嚴(yán)重，可以采用合適的石墨擋板進行保護。我司不單提供石墨擋板，還提供適合于各種注入機的電極和離子源，這些石墨產(chǎn)品都具有耐腐蝕和高純度的特性。
